บทคัดย่อ
บทความนี้นำเสนอระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคหรือเมมส์ซึ่งเป็นเครื่องกลระดับไมโครเมตรซึ่งใช้วงจรรวมในการขับเคลื่อน โครงสร้างประกอบด้วยส่วนประกอบหลักสองส่วนคือส่วนที่รับสัมผัสหรือตอบสนองต่อสิ่งเร้าและส่วนแปลงสัญญาณ วิธีการประดิษฐ์เมมส์เรียกว่าไมโครแมคชินนิง ซึ่งคือไมโครแมคชินนิงวัสดุกลุ่ม ไมโครแมคชินนิงผิว และกระบวนการลิการ์ การประดิษฐ์และการบรรจุเมมส์เกี่ยวพันกับวัสดุต่างๆ มากมาย เช่น ซิลิกอน สารประกอบซิลิกอน ควอตซ์ และแกลเลียมอาร์เซไนด์ เป็นต้น ในการบรรจุเมมส์ไม่เพียงแต่ป้องกันอันตรายของส่วนรับสัมผัสหรือตอบสนองต่อสิ่งเร้าจากสิ่งแวดล้อมเท่านั้น แต่ยังต้องสัมผัสกับสิ่งแวดล้อมเพื่อตรวจจับสัญญาณในเวลาดียวกันด้วย ผลิตภัณฑ์เมมส์เพิ่มขึ้นอย่างเด่นชัดในทางพาณิชย์ เช่น ในอุตสาหกรรมยานยนต์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ และอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับการดูแลสุขภาพ
บทความนี้นำเสนอระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาคหรือเมมส์ซึ่งเป็นเครื่องกลระดับไมโครเมตรซึ่งใช้วงจรรวมในการขับเคลื่อน โครงสร้างประกอบด้วยส่วนประกอบหลักสองส่วนคือส่วนที่รับสัมผัสหรือตอบสนองต่อสิ่งเร้าและส่วนแปลงสัญญาณ วิธีการประดิษฐ์เมมส์เรียกว่าไมโครแมคชินนิง ซึ่งคือไมโครแมคชินนิงวัสดุกลุ่ม ไมโครแมคชินนิงผิว และกระบวนการลิการ์ การประดิษฐ์และการบรรจุเมมส์เกี่ยวพันกับวัสดุต่างๆ มากมาย เช่น ซิลิกอน สารประกอบซิลิกอน ควอตซ์ และแกลเลียมอาร์เซไนด์ เป็นต้น ในการบรรจุเมมส์ไม่เพียงแต่ป้องกันอันตรายของส่วนรับสัมผัสหรือตอบสนองต่อสิ่งเร้าจากสิ่งแวดล้อมเท่านั้น แต่ยังต้องสัมผัสกับสิ่งแวดล้อมเพื่อตรวจจับสัญญาณในเวลาดียวกันด้วย ผลิตภัณฑ์เมมส์เพิ่มขึ้นอย่างเด่นชัดในทางพาณิชย์ เช่น ในอุตสาหกรรมยานยนต์ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ และอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับการดูแลสุขภาพ
คำสำคัญ :ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค,เซ็นเซอร์, แอคทูเอเตอร์,ระบบจุลภาค, วงจรรวม
